1.多樣式去除技術

■ Soaking Disc，預先針對特殊光阻做前置軟化。

■ 噴頭型式的選擇。

■ 製程腔體的搭配。

2.非接觸式傳送

3.雙面清洗室設計

■ 在晶圓反面形成水膜。

■ 晶圓正反面可同時進行製程。